滑閥式真空泵主要由泵體及內部作偏心轉動的滑閥、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等部分組成。泵體中裝有滑閥環，滑閥環內裝有偏心輪，偏心輪固定在軸上，軸與泵體中心線相重合。在滑閥環上裝有長方形的滑閥桿，它能在半圓形滑閥導軌中上下滑動及左右擺動，因此泵腔被滑閥環和滑閥桿分隔成a、b兩室。泵在運轉過程中，由于a、b兩室容積周期性地改變，使被抽氣體不斷進入逐漸增大容積的吸氣腔;同時，在排氣腔隨著其容積的縮小而使氣體受壓縮，并通過排氣閥排出泵外。
雙級型的滑閥泵，實際上是由兩個單級泵串聯起來的。它的高、低真空室在同一泵體上，有的是直接鑄成一個整體，有的是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。
滑閥式真空泵由于它的結構特點，一般分為單級泵和雙級泵兩種，但也有有立式和臥式兩種結構形式。隨著現今科技的發展，滑閥式機械真空泵也受到了較大的改革，它的使用也更加的使用與方便。進一步研究它的工作原理對于之后相關方面技術的改進和提升勢必有益。